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燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學性能以及微觀結(jié)構(gòu)的Z用設備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。

為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行J確的控制。

低孔隙度是高質(zhì)量硬質(zhì)合金的重要標志，氣體壓力燒結(jié)能有效消除硬質(zhì)合金孔隙度，達到真空、氫氣燒結(jié)爐無法達到的效果。隨著經(jīng)濟的發(fā)展，硬質(zhì)合金生產(chǎn)技術不斷進步，燒結(jié)爐已經(jīng)成為高質(zhì)量硬質(zhì)合金燒結(jié)的一種主導技術。在硬質(zhì)合金生產(chǎn)工藝中，燒結(jié)是決定硬質(zhì)合金結(jié)構(gòu)與性能的關鍵工序。壓力燒結(jié)爐是生產(chǎn)高性能硬質(zhì)合金的關鍵設備，經(jīng)壓力燒結(jié)的硬質(zhì)合金制品，具有極優(yōu)良的組織結(jié)構(gòu)，無論是制品的強度，還是產(chǎn)品的硬度和密度，均有相應的提高。

如圖1所示，硬質(zhì)合金壓力燒結(jié)工藝流程為：將裝好壓坯的舟皿放入爐內(nèi)，關好爐門，壓力燒結(jié)爐自動進行微正壓檢漏和真空檢漏。檢漏測試通過后，爐內(nèi)抽真空至設定的真空度，并按設定的工藝曲線加熱升溫。成型劑石蠟隨溫度升高逐漸逸出，石蠟蒸汽被抽入捕蠟系統(tǒng)，石蠟在捕蠟器中被回收。脫蠟過程結(jié)束后，繼續(xù)加熱升溫進入脫氧預燒及燒結(jié)階段。在燒結(jié)階段后期，關閉主真空擋板閥，爐內(nèi)通入5MPa壓力的氬氣并保溫一段時間，對燒結(jié)體進行壓力燒結(jié)以消除合金孔隙、裂紋等缺陷。壓力燒結(jié)結(jié)束后，切斷加熱電源，讓爐子自然冷卻到50-80℃卸壓出爐。

壓力燒結(jié)爐爐內(nèi)氣體排出路線如下：

1、開爐、預燒及燒結(jié)階段 　　爐膛（脫蠟閥關閉）→主真空擋板閥→主真空管→真空機組

2、脫蠟階段 　　爐膛（主真空擋板閥關閉）→脫蠟閥→脫蠟管→捕蠟器（蠟蒸汽在此被回收）→真空機組